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          技術頻道

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          方案分享 - 瓦片多線切割機

          時間:2022-04-22 11:44:10來源:浙江禾川科技股份有限公司

          導語:?隨著新能源汽車及工業自動化行業的興起,瓦片多線切割技術的應用可以大大提高磁材的產出效率,減少原材料損耗,還可以縮減下道工序的工作量。

          激光切割

          ?設備介紹?

            瓦片多線切割技術現主要用于切割電機內部磁材,對鋁鎳鈷、鐵氧體、釤鈷及釹鐵硼等材料進行加工。

            隨著新能源汽車及工業自動化行業的興起,瓦片多線切割技術的應用可以大大提高磁材的產出效率,減少原材料損耗,還可以縮減下道工序的工作量。

          激光切割

          激光切割

            瓦片多線切割機是一種新型切割設備,簡稱線鋸,通過金屬絲的高速往復運動,把磨料帶入半導體加工區域進行研磨,將半導體等硬脆材料一次性切割為數百片薄片。多線切割機以其極高的生產效率和出片率,在大直徑硅片加工領域已逐漸取代內圓切割機。

          ?工藝介紹?

            【設備傳動圖】

          激光切割

            主軸上纏繞多達幾百圈金屬線用于切割產品。

            張力擺桿提供恒定線網張力。

            收放卷電機實現高速切割時金屬線的收放動作。

            排線機構實現金屬線在收放卷上均勻排布及糾偏動作。

            工作臺升降進行產品切割,橫移可切割瓦片。

            【主軸控制—力矩平衡】

            采用四伺服主軸設計,主軸之間通過轉矩實時反饋,實現閉環同步控制,而無需傳送帶機構,機構運轉動態響應性高,易于安裝,使用壽命更長。

          激光切割

            演示視頻:

          激光切割

            【收放線控制—PID控制】

            收放線卷徑實時計算,通過速度跟隨加模糊PID控制,實現收放線的平穩運行。

          激光切割

            【排線控制—自動糾偏】

            排線電機根據收放卷電機轉速做速度跟隨同步運動,實現金屬線高速運動時的排線動作。

            新金屬線偶爾會有排線錯亂的情況,這種情況在高速運動時會導致斷線。在排線機構上線的兩側會有銅棒或者傳感器用于采集金屬線偏移的信號,若采集到了金屬線偏移信號,排線會根據信號進行正向或者反向速度疊加運動,實現排線糾偏。

          激光切割

            演示視頻:

          激光切割

            【瓦片模式】

            通過工作臺升降軸和橫動軸的位置跟隨同步運動,使得工作臺按照預設軌跡進給,從而切割出需要的瓦片。

          激光切割

            切割成品:

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            ?禾川方案?

            【方案拓撲】

          激光切割

            【性能指標】

            1.金屬線速度:800~1200m/min。

            2.金屬線加速度:10m/s2。

            3.金屬線儲線量:20km以上。

            4.擺桿擺幅:±1°以內。

            5.斷線率:1%以內。

            6.切片厚度差:2絲以內。

            7.張力波動:0.1N以內。

            8.切割模式:直片、瓦片。

            【方案優勢】

            1. 工作效率高,一次可切割幾百個晶片。

            2. 加工晶片表面損傷層淺,片間切割損耗少。

            3. 收放線卷徑實時計算,通過算法加模糊PID控制,達到擺桿抖動±1°以內。

            4. 精密排線控制,能夠自動糾偏和換向,保持排線運行穩定。

            5. 實時采集主軸當前力矩,通過閉環同步控制,實現多軸力矩平衡。

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          標簽: 工業自動化激光切割半導體

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